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IC以及4”硅片检查显微镜BX51M BX51 欢迎来电:021-39530106

IC以及4”硅片检查显微镜BX51M


BX51

BX51M
新一代UIS2光学系统,采用波前像差控制技术确保了世界最高等级的成像
A new standard of the objective lens performance, using wavefront aberration control.
The Olympus UIS2 objective lenses set a new standard, with wavefront aberration control in addition to common performance standards of N.A. and W.D. Olympus challenges farther highest order optics which has not been fulfilled by the conventional standards. We offer excellent performance objective lenses by minimizing the aberrations that lower resolution.


An example of 3D display of a wave front measured with a laser interferometer. The flatter the surface of the lens, the better the aberration correction becomes.
可以实现透反射/反射,明场法,暗场法,偏光法,微分干涉法,荧光法,红外法 高质量观察从1.25X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X各种系列的物镜可供选择

适用于从半导体,LCD,LED,到金相分析,材料分析的各种用途
可配用手动开关可切换的各种电动换镜转盘
光学系统
无限远色差校正光学系统
观察筒
30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0或0:100
30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,三档分光比双目:三目=100:0或20:80或0:100
目镜
高眼点大视野平场目镜PL10X25mm,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL10X25mm,带单刻度十字分划板,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL10X26.5mm,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL10X26.5mm,带单刻度十字分划板,视度可调
物镜
明暗场半复消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)
明场半复消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)
物镜转换器
(带DIC插槽)
明暗场5孔转换器,明暗场6孔转换器
明场6孔转换器,明场7孔转换器
机架
透反两用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程25mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,双路电源输出,采用数字调光,具有光强设定与复位功能、反射/透射光切换开关,内置透射光滤色镜(LBD、ND6、ND25)
反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程25mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能
载物台
右手位4英寸机械平台,行程105mmx102mm,带Y轴锁定机构,可带透射系统挡光板,带玻璃载物台板
聚光镜
摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9)
反射照明器
明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽
灯 室
12V100W卤素灯室,透、反射通用,预定中心
其他附件
摄影摄像附件:0.5X,C型接口,可调焦
起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板
DIC微分干涉组件
反射用干涉滤色片:蓝色≤ 480nm 绿色:520nm-570nm 红色:630nm-750nm
色平衡片(白光)
高精度型测微尺,格值0.01mm

 

100X100mm载物台板,确保能放置最大4英寸的晶片

BX51-IR
可对裸眼不可见的区域进行无损的检查和分析,以及近红外观察特化的显微镜. 能对半导体晶片内部和集成电路组件背面进行无损的CPS bumps观察

上海思长约光学仪器票赔率高的平台 

电话:021-39530106   69582899 13818629801     传真:021-69588101    邮箱: sales@shsopt.com